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半導(dǎo)體車(chē)間廢氣處理設(shè)備選擇標(biāo)準(zhǔn)

未知, 2022-07-04 13:45, 次瀏覽

  半導(dǎo)體車(chē)間廢氣處理設(shè)備選擇標(biāo)準(zhǔn):
  (1)半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間廢氣處理設(shè)備的選擇是根據(jù)待消除氣體的種類(lèi)、濃度、流量和壓力,減排設(shè)備的處理能力,綜合考慮農(nóng)藥的壽命、前后與設(shè)備的關(guān)系等多種情況,挑選合適的處理方法和設(shè)備。
  (2)半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間廢氣處理設(shè)備在混合時(shí)將會(huì)爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應(yīng)該是一個(gè)***立的系統(tǒng)。
  (3)可能有自燃性氣體或可燃?xì)怏w流動(dòng)的排風(fēng)管道采用不燃材料。
  (4)不可以讓半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間廢氣處理設(shè)備規(guī)格中規(guī)定的廢氣以外的廢氣流動(dòng),或準(zhǔn)許***量廢氣流動(dòng)超出廢氣處理設(shè)備的處理水平。


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